超紫外光

超快EUV光源近年來受到了極大的關注，特別是高次諧波產生（Highharmonicgeneration,HHG）桌上型同調極紫外或軟X光光源。通過將強雷射束聚焦到氣態靶中，光場游離 ...,2020年12月4日—看！就是那道光...EUV，全名為ExtremeUltraviolet，中文叫做「極紫外光」，是一種波長極短的紫外光，一般生活中要塗乳液防曬的紫外線波長約在100~400奈米 ...,2024年4月17日—全球光刻機大廠艾斯摩爾(ASML-US)在4月17日表示，已將其最新的一台“Hi...

參考資訊如下
陳明彰教授團隊─ 一光圈突破了桌上型極紫外光產生的能量 ...

超快EUV光源近年來受到了極大的關注，特別是高次諧波產生（High harmonic generation, HHG）桌上型同調極紫外或軟X光光源。 通過將強雷射束聚焦到氣態靶中，光場游離 ...

EUV是個什麼酷東西？ — 決定未來半導體先進製程的關鍵技術

2020年12月4日 — 看！就是那道光 ... EUV，全名為Extreme Ultraviolet，中文叫做「極紫外光」，是一種波長極短的紫外光，一般生活中要塗乳液防曬的紫外線波長約在100~400奈米 ...

ASML已出貨第二台High NA EUV光刻機，市場認為可能是 ...

2024年4月17日 — 全球光刻機大廠艾斯摩爾(ASML-US)在4月17日表示，已將其最新的一台“High NA”極紫外光刻機運送給了第二個客戶。這是繼去年底至今年初向英特爾交付一台High ...

全球瘋搶EUV 曝光機！究竟是摩爾定律的救命曙光

2023年3月10日 — 極紫外光（Extreme ultraviolet, EUV）是波長小於13.5 奈米的光，使用EUV 作為光源的曝光機，即為EUV 曝光機。由於造價昂貴、製程繁複、貨源稀少，關鍵 ...

桌上型超快極紫外雷射

陳明彰教授實驗室，偶然將光圈置放於高次諧波實驗前方，竟發現只要調整光圈大小，就可精巧控制極紫外光的頻寬和中心波長，突破了傳統高次諧波的能量極限，讓18奈米的光子數 ...

認識「微影製程」，艾司摩爾為何能主宰極紫外光時代？

2023年8月29日 — X光是指波長為0.01∼10奈米的光，目前極紫外光微影技術已經發展至13.5奈米左右，6.7奈米以下的光源被稱為BEUV（beyond EUV），而之所以會這麼常被提到，是 ...

极紫外光刻

极紫外光刻（英语：extreme ultraviolet lithography，台湾称为极紫外光微影，简称“EUV”或“EUVL”）又稱作超紫外線平版印刷術, 是一种使用極紫外光波長的光刻技術，目前 ...

極紫外光微影製程

極紫外光微影（英語：extreme ultraviolet lithography，中國大陸稱為極紫外光刻，簡稱「EUV」或「EUVL」）又稱作超紫外線平版印刷術, 是一種使用極紫外光波長的微影 ...