超紫外光
超快EUV光源近年來受到了極大的關注,特別是高次諧波產生(Highharmonicgeneration,HHG)桌上型同調極紫外或軟X光光源。通過將強雷射束聚焦到氣態靶中,光場游離 ...,2020年12月4日—看!就是那道光...EUV,全名為ExtremeUltraviolet,中文叫做「極紫外光」,是一種...
全球瘋搶EUV 曝光機!究竟是摩爾定律的救命曙光
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2023年3月10日—極紫外光(Extremeultraviolet,EUV)是波長小於13.5奈米的光,使用EUV作為光源的曝光機,即為EUV曝光機。由於造價昂貴、製程繁複、貨源稀少,關鍵 ...
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