超紫外光
超快EUV光源近年來受到了極大的關注,特別是高次諧波產生(Highharmonicgeneration,HHG)桌上型同調極紫外或軟X光光源。通過將強雷射束聚焦到氣態靶中,光場游離 ...,2020年12月4日—看!就是那道光...EUV,全名為ExtremeUltraviolet,中文叫做「極紫外光」,是一種...
EUV是個什麼酷東西? — 決定未來半導體先進製程的關鍵技術
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2020年12月4日—看!就是那道光...EUV,全名為ExtremeUltraviolet,中文叫做「極紫外光」,是一種波長極短的紫外光,一般生活中要塗乳液防曬的紫外線波長約在100~400奈米 ...
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