超紫外光
超快EUV光源近年來受到了極大的關注,特別是高次諧波產生(Highharmonicgeneration,HHG)桌上型同調極紫外或軟X光光源。通過將強雷射束聚焦到氣態靶中,光場游離 ...,2020年12月4日—看!就是那道光...EUV,全名為ExtremeUltraviolet,中文叫做「極紫外光」,是一種...
認識「微影製程」,艾司摩爾為何能主宰極紫外光時代?
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2023年8月29日—X光是指波長為0.01∼10奈米的光,目前極紫外光微影技術已經發展至13.5奈米左右,6.7奈米以下的光源被稱為BEUV(beyondEUV),而之所以會這麼常被提到,是 ...
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