超紫外光
超快EUV光源近年來受到了極大的關注,特別是高次諧波產生(Highharmonicgeneration,HHG)桌上型同調極紫外或軟X光光源。通過將強雷射束聚焦到氣態靶中,光場游離 ...,2020年12月4日—看!就是那道光...EUV,全名為ExtremeUltraviolet,中文叫做「極紫外光」,是一種...
極紫外光微影製程
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極紫外光微影(英語:extremeultravioletlithography,中國大陸稱為極紫外光刻,簡稱「EUV」或「EUVL」)又稱作超紫外線平版印刷術,是一種使用極紫外光波長的微影 ...
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