浸潤式immersion微影技術

2022年1月3日 — ... 浸潤式（Immersion）微影技術，並在5奈米製程擴大使用，甚至如今還成為全球擁有最多EUV機台的廠商。 林本堅身為推動浸潤式微影技術的台積電前研發大將 ...

微影技術的發展，一直以來都象徵著製程的進步、線寬能否再微縮化等等內容，在半導體產業裡具有重大的指標意義。針對65奈米以下光罩製作，浸潤式微影技術的出現，也代表著 ...

1987年，他建議微影技術要再發展下去，就必須從乾式轉向浸潤式。2002年，他提出與其在技術極限的157奈米波長繼續鑽下去，倒不如回頭善用193奈米波長的光， ...

2022年7月31日 — 浸潤式微影技術教父、台積電前研發副總林本堅堅持研發對半導體產業帶來巨大影響。艾司摩爾（ASML）總裁布林克（Martin van den Brink）接受荷蘭媒體de ...

2012年12月20日 — 浸潤式微影技術被如此快速接受的原因，是因為奠基於經證實的浸潤式顯微鏡(immersion microscopy)原理。該原理可回溯至1600年代，由英國自然哲學家(natural ...

2013年10月13日 — 這種「加了水」的微影技術，就叫做浸潤式微影技術。透過它，以及其他相關技術的發展，人類成功地讓晶片愈來愈精密，電路的線寬愈來愈細。剛剛提到在65 ...

由 林育詩 著作 · 2008 — 浸潤式微影利用簡單的物理光學原理，包含折射、繞射與鑑別度，可以. 同時改善解析度和焦距深度。使用原有微影系統，搭配浸潤式微影，可以達到更. 短光源波長的效果，對IC ...

微影技術機是全世界最精密的照相機，可把電路的影像投射在覆蓋於矽晶圓上的光阻劑，然後，用顯影劑移除曝光的部位，再由蝕刻藥劑把電路刻到晶圓上，之後晶圓即可被切割成 ...