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浸潤式immersion微影技術
2022年1月3日—...浸潤式(Immersion)微影技術,並在5奈米製程擴大使用,甚至如今還成為全球擁有最多EUV機台的廠商。林本堅身為推動浸潤式微影技術的台積電前研發大將 ...,微影技術的發展,一直以來都象徵著製程的進步、線寬能否再微縮化等等內容,在半導體產業裡具...
簡單的光學突破3C 科技瓶頸:浸潤式微影
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由林育詩著作·2008—浸潤式微影利用簡單的物理光學原理,包含折射、繞射與鑑別度,可以.同時改善解析度和焦距深度。使用原有微影系統,搭配浸潤式微影,可以達到更.短光源波長的效果,對IC ...
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