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浸潤式immersion微影技術
2022年1月3日—...浸潤式(Immersion)微影技術,並在5奈米製程擴大使用,甚至如今還成為全球擁有最多EUV機台的廠商。林本堅身為推動浸潤式微影技術的台積電前研發大將 ...,微影技術的發展,一直以來都象徵著製程的進步、線寬能否再微縮化等等內容,在半導體產業裡具...
浸潤式微影壽命延長EUV恐無出頭天?
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2012年12月20日—浸潤式微影技術被如此快速接受的原因,是因為奠基於經證實的浸潤式顯微鏡(immersionmicroscopy)原理。該原理可回溯至1600年代,由英國自然哲學家(natural ...
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