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浸潤式immersion微影技術
2022年1月3日—...浸潤式(Immersion)微影技術,並在5奈米製程擴大使用,甚至如今還成為全球擁有最多EUV機台的廠商。林本堅身為推動浸潤式微影技術的台積電前研發大將 ...,微影技術的發展,一直以來都象徵著製程的進步、線寬能否再微縮化等等內容,在半導體產業裡具...
林本堅以浸潤式微影技術開創產業未來
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1987年,他建議微影技術要再發展下去,就必須從乾式轉向浸潤式。2002年,他提出與其在技術極限的157奈米波長繼續鑽下去,倒不如回頭善用193奈米波長的光, ...
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