193奈米浸潤式微影技術

2022年9月12日 — 隨著浸潤式微影技術成為顯學，整個業界157奈米的開發正式停止，取而代之是浸潤式的193奈米；193奈米第一個導入的製程是45奈米，台積電就此拉大領先聯電的 ...

據業界消息，台積電積極推動的半導體新一代技術浸潤式（immersion）微影技術，又向前邁進一步，該公司向設備大廠ASML採購的193奈米雛形機已經運抵新竹，並正式移入 ...

再者，193奈米浸潤式曝光機也是半導體產業壽命最常的微影設備，對比之前248曝光機、193乾式曝光機等，193奈米浸潤式技術可以從65奈米、40奈米、28奈米、16奈米、10奈米製程 ...

2013年10月13日 — 光波在真空裡面大概是193奈米的波長，它到了水之後，因為水的那個折射率是1.44，普通在真空是1，所以到了水裡，波長從193掉到134奈米，光的波長減短了，那 ...

台積電為推動浸潤式微影技術，這二年多以來努力推廣該技術的可行性，主要是因為台積電的研發結果發現，將193奈米微影設備加入浸潤功能後，無需更換193奈米所需之光阻材料， ...

2022年8月14日 — 這項技術的原理，便是利用介改變造成光線折射的原理，讓原本的波長改變，從而可以生成更小的波長。若以193奈米當做基底，則可以生成134奈米的光，甚至遠遠 ...

應用浸潤式微影技術，可以在晶圓上投射出更微小的電路，但是水裡的微氣泡會使電路的完整性受到破壞。 193奈米的微影技術機台早已歷經時間的考驗，晶片廠可把重點放在這個 ...

在193奈米波長的基礎上，林本堅利用最不起眼的「水」，演繹了完美的光魔術，他在193奈米乾式微影鏡頭前滴上一層一公釐至二公釐的水，讓波長變短。波長越短，越強解析度的 ...