193奈米浸潤式微影技術
2022年6月10日—2002年時全球投入波長157奈米乾式微影技術遇到瓶頸，他發表浸潤式微影技術引起轟動，卻遭乾式微影技術的大公司針鋒相對，因乾式微影技術的投資已遠超過10 ...,據業界消息，台積電積極推動的半導體新一代技術浸潤式（immersion）微影技術，又向前邁進...
浸潤式微影技術的問世與挑戰
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2022年8月14日—這項技術的原理，便是利用介改變造成光線折射的原理，讓原本的波長改變，從而可以生成更小的波長。若以193奈米當做基底，則可以生成134奈米的光，甚至遠遠 ...
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