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193奈米浸潤式微影技術
據業界消息,台積電積極推動的半導體新一代技術浸潤式(immersion)微影技術,又向前邁進一步,該公司向設備大廠ASML採購的193奈米雛形機已經運抵新竹,並正式移入 ...,再者,193奈米浸潤式曝光機也是半導體產業壽命最常的微影設備,對比之前248曝光機、193乾式曝光...
衝破晶圓製造瓶頸的一滴水
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應用浸潤式微影技術,可以在晶圓上投射出更微小的電路,但是水裡的微氣泡會使電路的完整性受到破壞。193奈米的微影技術機台早已歷經時間的考驗,晶片廠可把重點放在這個 ...
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