193奈米浸潤式微影技術
2022年6月10日—2002年時全球投入波長157奈米乾式微影技術遇到瓶頸,他發表浸潤式微影技術引起轟動,卻遭乾式微影技術的大公司針鋒相對,因乾式微影技術的投資已遠超過10 ...,據業界消息,台積電積極推動的半導體新一代技術浸潤式(immersion)微影技術,又向前邁進...
林本堅以浸潤式微影技術開創產業未來
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因為他,193奈米浸潤式微影方式問世,改寫全世界半導體微影藍圖;因為他,產業界花在前一代技術將近10億美元後停止繼續失血。他是台積電奈米影像技術研究發展副總經理 ...
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