193奈米浸潤式微影技術
2022年6月10日—2002年時全球投入波長157奈米乾式微影技術遇到瓶頸,他發表浸潤式微影技術引起轟動,卻遭乾式微影技術的大公司針鋒相對,因乾式微影技術的投資已遠超過10 ...,據業界消息,台積電積極推動的半導體新一代技術浸潤式(immersion)微影技術,又向前邁進...
微影技術的未來浸潤式vs.奈米壓印式
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台積電為推動浸潤式微影技術,這二年多以來努力推廣該技術的可行性,主要是因為台積電的研發結果發現,將193奈米微影設備加入浸潤功能後,無需更換193奈米所需之光阻材料, ...
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