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193奈米浸潤式微影技術
2022年6月10日—2002年時全球投入波長157奈米乾式微影技術遇到瓶頸,他發表浸潤式微影技術引起轟動,卻遭乾式微影技術的大公司針鋒相對,因乾式微影技術的投資已遠超過10 ...,據業界消息,台積電積極推動的半導體新一代技術浸潤式(immersion)微影技術,又向前邁進...
193奈米機台到位台積電浸潤式微影邁新局
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據業界消息,台積電積極推動的半導體新一代技術浸潤式(immersion)微影技術,又向前邁進一步,該公司向設備大廠ASML採購的193奈米雛形機已經運抵新竹,並正式移入 ...
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