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euv波長
ProzessderEUVLithografiemitLasernvonTRUMPF.EUV光刻的一大挑戰在於產生13.5奈米的最佳波長光束。解決方案:透過雷射射束生成提供極短波長光束的發光電漿。但 ...,2021年2月15日—因為是第一次採用雷射電漿(laser-producedplasma,LPP)技術來產生波長為13.5奈米的...
極紫外輻射
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極紫外輻射(英語:Extremeultravioletradiation)又稱極紫外光或高能紫外線輻射,簡稱EUV、XUV,是波長在124nm到10nm之間的電磁輻射,對應光子能量為10eV到124eV。
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