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euv波長
從上圖也能看到,從193nm到13.5nm光波長之間,出現了一大段“真空地帶”,光波長從193nm到EUV的13.5nm中間,曾經歷過哪些波折,留下了哪些故事。時間退回到20世紀60年代,彼 ...,2020年12月4日—EUV,全名為ExtremeUltraviolet,中文叫做「極紫外光」,是一種波長極短...
挽救摩爾定律:ASML 極紫外光(EUV)微影技術量產的開發歷程
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2021年2月15日—因為是第一次採用雷射電漿(laser-producedplasma,LPP)技術來產生波長為13.5奈米的EUV光,3100的光源非常弱,最佳狀態時只能輸出10瓦的功率,是 ...
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