mems製程種類
2019年1月3日—MEMS·1.SurfaceMicromachining(面型矽基加工):是利用薄膜沉積及蝕刻技術將需要的機械元件製作在矽晶表面上;·2.LIGAProcess:是綜合X-ray光蝕刻、 ...,通常的模擬量採樣的方式有兩種:靜電電容式和壓電電阻式。前者在低功耗方面更具優勢,消耗電流更...
微系統封裝技術之介紹
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MEMS)是當前相當具發展潛力之研究領域,它結.合光電、電子、電機、機械、材料、化學、控制、.物理、生醫、生化等多重技術與微小化系統製造技.術,其加工方式為應用 ...
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