mems製程種類
2019年1月3日—MEMS·1.SurfaceMicromachining(面型矽基加工):是利用薄膜沉積及蝕刻技術將需要的機械元件製作在矽晶表面上;·2.LIGAProcess:是綜合X-ray光蝕刻、 ...,通常的模擬量採樣的方式有兩種:靜電電容式和壓電電阻式。前者在低功耗方面更具優勢,消耗電流更...
超越摩爾的微機電系統技術!將感測器與致動器微型化| ...
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2022年11月20日—微機電系統(MEMS)是人類邁向智能未來與探索微觀世界不可或缺的重要科技。所謂MEMS,就是以成熟的半導體製程作為基礎,透過靈活運用各種不同的材料、多元 ...
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