mems製程種類
2019年1月3日—MEMS·1.SurfaceMicromachining(面型矽基加工):是利用薄膜沉積及蝕刻技術將需要的機械元件製作在矽晶表面上;·2.LIGAProcess:是綜合X-ray光蝕刻、 ...,通常的模擬量採樣的方式有兩種:靜電電容式和壓電電阻式。前者在低功耗方面更具優勢,消耗電流更...
微機電系統簡介
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這就是MEMS...微機械製造(Micromachining)技術是利用半導體的製程來製造微小的懸臂樑、薄板、齒輪、閥門等機械元件,這些元件的尺寸甚至可小於微米(百萬分之一公尺 ...
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