mems製程種類
2019年1月3日—MEMS·1.SurfaceMicromachining(面型矽基加工):是利用薄膜沉積及蝕刻技術將需要的機械元件製作在矽晶表面上;·2.LIGAProcess:是綜合X-ray光蝕刻、 ...,通常的模擬量採樣的方式有兩種:靜電電容式和壓電電阻式。前者在低功耗方面更具優勢,消耗電流更...
何謂MEMS?
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MEMS是MicroElectroMechanicalSystems(微機電系統)的縮寫,具有微小的立體結構(三維結構),是處理各種輸入、輸出信號的系統的統稱。是利用微細加工技術,將機械 ...
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