mems製程種類
2019年1月3日—MEMS·1.SurfaceMicromachining(面型矽基加工):是利用薄膜沉積及蝕刻技術將需要的機械元件製作在矽晶表面上;·2.LIGAProcess:是綜合X-ray光蝕刻、 ...,通常的模擬量採樣的方式有兩種:靜電電容式和壓電電阻式。前者在低功耗方面更具優勢,消耗電流更...
MEMS殺手級應用—消費性電子產品
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此外,在MEMS製程平台的選擇上,隨著MEMS跨入大眾消費性電子市場,未來對於成本與產量的掌握將成為業者競爭優勢;Si製程具有低成本、產能豐富、相關支援產業完整,加上CMOS ...
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