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euv光源
2023年12月21日—因應半導體微影技術發展之潮流,國家度量衡標準實驗室近年來啟動發展極紫外(EUV)波段之光輻射量測技術。而EUV波段之光源與感測器,無疑是發展EUV相關 ...,在高次諧波產生極紫外光(EUV)之過程中,較高光子能量的EUV轉換效率較低,故大多數桌上型高次...
極紫外光微影製程
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EUV微影製程選擇第二中作法,將光源波長降低13.5奈米來提升電路圖案解析度,由於EUV波長太短,非常容易被大氣吸收,因此此道製程需要在真空環境中完成。目前EUV微影製程機台由 ...
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