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euv光源
2023年12月21日—因應半導體微影技術發展之潮流,國家度量衡標準實驗室近年來啟動發展極紫外(EUV)波段之光輻射量測技術。而EUV波段之光源與感測器,無疑是發展EUV相關 ...,在高次諧波產生極紫外光(EUV)之過程中,較高光子能量的EUV轉換效率較低,故大多數桌上型高次...
挽救摩爾定律:ASML 極紫外光(EUV)微影技術量產的開發歷程
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2021年2月15日—EUV微影技術採用錫的電漿來產生波長為13.5奈米的光源,以及用鉬矽多層反射薄膜來把光傳遞到晶片上。不同於一般的紫外光微影技術,EUV微影技術得在低 ...
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