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euv波長
從上圖也能看到,從193nm到13.5nm光波長之間,出現了一大段“真空地帶”,光波長從193nm到EUV的13.5nm中間,曾經歷過哪些波折,留下了哪些故事。時間退回到20世紀60年代,彼 ...,2020年12月4日—EUV,全名為ExtremeUltraviolet,中文叫做「極紫外光」,是一種波長極短...
摩爾定律的華麗謝幕:EUV微影機
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2020年10月22日—微影機的光源坐落於紫外光,波長介於10~400奈米之間。從早期的光源來自於汞燈的g-line及i-line,一旦製程線寬小於100奈米,所使用的光源 ...
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