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浸潤式微影技術
2022年9月12日—他20年前在台積電擔任研發處長時,以浸潤式微影技術,成功把摩爾定律推進6個世代;20年後,產業面臨空前的人才困境,80歲的林本堅再次扛下重擔,出任清大 ...,微影技術的發展,一直以來都象徵著製程的進步、線寬能否再微縮化等等內容,在半導體產業裡...
微影技術的未來浸潤式vs.奈米壓印式
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微影技術的發展,一直以來都象徵著製程的進步、線寬能否再微縮化等等內容,在半導體產業裡具有重大的指標意義。針對65奈米以下光罩製作,浸潤式微影技術的出現,也代表著 ...
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