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浸潤式微影技術
2022年9月12日—他20年前在台積電擔任研發處長時,以浸潤式微影技術,成功把摩爾定律推進6個世代;20年後,產業面臨空前的人才困境,80歲的林本堅再次扛下重擔,出任清大 ...,微影技術的發展,一直以來都象徵著製程的進步、線寬能否再微縮化等等內容,在半導體產業裡...
林本堅以浸潤式微影技術開創產業未來
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浸潤式微影,這個十年前還不為人所認可的技術,在林本堅頻頻奔走於國際研討會,以傳教士精神鼓吹推動下,不僅扭轉半導體產業從乾式微影技術轉為以水為介質的浸潤式微影技術 ...
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