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浸潤式微影技術
2022年9月12日—他20年前在台積電擔任研發處長時,以浸潤式微影技術,成功把摩爾定律推進6個世代;20年後,產業面臨空前的人才困境,80歲的林本堅再次扛下重擔,出任清大 ...,微影技術的發展,一直以來都象徵著製程的進步、線寬能否再微縮化等等內容,在半導體產業裡...
浸潤式微影技術的問世與挑戰
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2022年8月14日—大量的資金投入,各大公司的研發都苦於解決問題時,林本堅院士從微影技術上下手,提出從傳統的乾式微影,轉移成浸潤式濕式微影技術。這項技術的原理,便是 ...
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