浸潤式微影技術
2022年9月12日—他20年前在台積電擔任研發處長時,以浸潤式微影技術,成功把摩爾定律推進6個世代;20年後,產業面臨空前的人才困境,80歲的林本堅再次扛下重擔,出任清大 ...,微影技術的發展,一直以來都象徵著製程的進步、線寬能否再微縮化等等內容,在半導體產業裡...
浸潤式微影壽命延長EUV恐無出頭天?
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2012年12月20日—1900年代,浸潤式顯微鏡技術已經成為科學。上述原理是利用光通過液體介質時會彎折的特性──把筆直的筷子插在裝滿水的玻璃杯 ...
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