大馬士革半導體
本发明涉及半导体制造领域,尤其涉及一种大马士革制造工艺,通过在铜互连线上覆盖可防铜扩散的金属保护层,并且不在铜互连线上覆盖介电阻挡层,不仅相应提高了铜互连线 ...,2021年12月1日—大马士革damascene工艺在半导体行业指的一种金属镶嵌工艺铜的电阻率比铝低且...
大马士革工艺介绍
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大马士革工艺介绍.时间:2020-09-18;分类:半导体工艺;访问:5,642次.##一、Al布线VSCu布线我们都知道,铜的导电性比铝好,而且我们的生活中的电线都是铜丝做 ...
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