![大馬士革半導體](https://host.easylife.tw/pics/author/yohnu1/201803/Font/first.png)
大馬士革半導體
本发明涉及半导体制造领域,尤其涉及一种大马士革制造工艺,通过在铜互连线上覆盖可防铜扩散的金属保护层,并且不在铜互连线上覆盖介电阻挡层,不仅相应提高了铜互连线 ...,2021年12月1日—大马士革damascene工艺在半导体行业指的一种金属镶嵌工艺铜的电阻率比铝低且...
什么是大马士革工艺?(半导体)?
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2021年12月1日—大马士革damascene工艺在半导体行业指的一种金属镶嵌工艺铜的电阻率比铝低且不容易发生电子迁移刻蚀铜比铝快所以用大马士革镶嵌的方法形成铜互连。
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