euv波長
從上圖也能看到,從193nm到13.5nm光波長之間,出現了一大段“真空地帶”,光波長從193nm到EUV的13.5nm中間,曾經歷過哪些波折,留下了哪些故事。時間退回到20世紀60年代,彼 ...,2020年12月4日—EUV,全名為ExtremeUltraviolet,中文叫做「極紫外光」,是一種波長極短...
極紫外光刻Extreme Ultraviolet Lithography
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- 維基百科
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EUV(10-121nm)是比X射線(0.1-10nm)長、比氫的萊曼α線短的波段。EUV光譜不太單色,也不像DUV激光源那樣光譜純淨,但使用的波長通常被認為是13.5nm。實際上 ...
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