euv波長
從上圖也能看到,從193nm到13.5nm光波長之間,出現了一大段“真空地帶”,光波長從193nm到EUV的13.5nm中間,曾經歷過哪些波折,留下了哪些故事。時間退回到20世紀60年代,彼 ...,2020年12月4日—EUV,全名為ExtremeUltraviolet,中文叫做「極紫外光」,是一種波長極短...
藉助CO 2 高功率雷射系統和錫產生EUV輻射
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ProzessderEUVLithografiemitLasernvonTRUMPF.EUV光刻的一大挑戰在於產生13.5奈米的最佳波長光束。解決方案:透過雷射射束生成提供極短波長光束的發光電漿。但 ...
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