euv波長
從上圖也能看到,從193nm到13.5nm光波長之間,出現了一大段“真空地帶”,光波長從193nm到EUV的13.5nm中間,曾經歷過哪些波折,留下了哪些故事。時間退回到20世紀60年代,彼 ...,2020年12月4日—EUV,全名為ExtremeUltraviolet,中文叫做「極紫外光」,是一種波長極短...
EUV光刻,最終勝出!
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- EUV光源 原理
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- 微影技術原理
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