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euv原理
EUV極紫外光微影技術.ASML是全世界唯一採用極紫外光的微影設備製造商。為了能控制EUV極紫外光光源,並推動EUV微影系統商用化,20多年來,ASML持續投入研發,克服各種 ...,2023年10月16日—簡單來說,為了正式引進EUV設備,需要由多層透鏡和曝光吸收層(Absorber)組...
全球瘋搶EUV 曝光機!究竟是摩爾定律的救命曙光
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2023年3月10日—簡單來說,當工程師規劃好晶圓上各區域的功能後,會將電路圖刻在石英片上面,製作成「光罩」,當光束從光罩上方照下來,透過由透鏡組成的光學系統,照射到 ...
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