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euv原理
EUV極紫外光微影技術.ASML是全世界唯一採用極紫外光的微影設備製造商。為了能控制EUV極紫外光光源,並推動EUV微影系統商用化,20多年來,ASML持續投入研發,克服各種 ...,2023年10月16日—簡單來說,為了正式引進EUV設備,需要由多層透鏡和曝光吸收層(Absorber)組...
摩爾定律的華麗謝幕:EUV微影機
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2020年10月22日—此機的概念是由中研院院士林本堅任職於台積電所提出的,原理上當光通過液體介質的時候,其速度會變慢,也就是波長會變短。因此若將被曝光的晶圓浸泡在 ...
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