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euv原理
EUV極紫外光微影技術.ASML是全世界唯一採用極紫外光的微影設備製造商。為了能控制EUV極紫外光光源,並推動EUV微影系統商用化,20多年來,ASML持續投入研發,克服各種 ...,2023年10月16日—簡單來說,為了正式引進EUV設備,需要由多層透鏡和曝光吸收層(Absorber)組...
什麼是EUV?它能製造先進製程晶片,但有3個缺點需要克服
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2023年10月16日—簡單來說,為了正式引進EUV設備,需要由多層透鏡和曝光吸收層(Absorber)組成的無缺陷光罩,超薄膜、高強度、高均勻透射率的光罩護膜(Pellicle),以及 ...
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