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euv原理
EUV極紫外光微影技術.ASML是全世界唯一採用極紫外光的微影設備製造商。為了能控制EUV極紫外光光源,並推動EUV微影系統商用化,20多年來,ASML持續投入研發,克服各種 ...,2023年10月16日—簡單來說,為了正式引進EUV設備,需要由多層透鏡和曝光吸收層(Absorber)組...
EUV 極紫外光!一個你應該知道與台積電相關的技術
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2021年5月27日—紫外光經過光罩後,利用各種光學原理將光束射在晶圓上,就可以在上面刻出精細的電路圖了。我們再把這片晶圓切成一顆顆原始晶片。而因為這項技術牽涉到 ...
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