euv原理
EUV極紫外光微影技術.ASML是全世界唯一採用極紫外光的微影設備製造商。為了能控制EUV極紫外光光源,並推動EUV微影系統商用化,20多年來,ASML持續投入研發,克服各種 ...,2023年10月16日—簡單來說,為了正式引進EUV設備,需要由多層透鏡和曝光吸收層(Absorber)組...
極紫外光微影製程
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EUV光罩與傳統光罩也截然不同,具複合多塗層反射鏡(分散式布拉格反射器)的光罩可將電路圖案反射到晶圓上。這種多層膜光罩雖然可維持光罩的反射率,但另一方面會影響臨界線 ...
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