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微影技術原理
IC愈做愈小的關鍵技術在於光學微影(OpticalLithography)。光學微影簡單來說,就是在製作元件的過程中,將元件的組成材料依所需位置「印」在半導體晶 ...,該技術乃是應用F2準分子雷射作為曝光光源,以得到更好的解析度。空氣中的水氣與氧氣對於此一波長範圍的光有...
讓摩爾定律成真的關鍵: 微影技術— 影響七十億以上個未來
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光學微影技術.那微影技術的基本原理是甚麼呢?其實非常類似.於我們日常生活中在照相及沖洗底片,只是大家需要想.像,原本的風景或是人物是要感光在底片上,而現今的.微 ...
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