微影技術原理
微影技術將面臨愈來愈嚴苛的挑戰,沒有革命性的發展能輕易解決微影技術所面臨的難題。降低波長(轉移至157nm的成本相當昂貴)、增加數值孔徑(浸入式微影會讓數值孔徑增加 ...,半導體製程中要將晶片上.的電路更縮小化,就需要更短波長的雷射光源,或是使用浸潤式光學微...
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