光罩原理
由吳政三著作·2012—曝光機的原理和照相機基本上是類似的,完成光阻塗佈的晶圓.就如同底片一樣,而光罩就是我們要照的影像,只是曝光機的解析.度比照相機好很多而且也複雜很多。曝光機可分成 ...,微影製程是將電路圖案,透過已刻好圖案的光罩及光阻,「轉印」到晶圓...
相轉移光罩技術
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本文將依次討論.相轉移光罩的概論及原理、製程技術及.其在成像應用上的好處。導論.在介紹相轉移光罩之前,讓我們先.回顧一下兩個極為重要的光學 ...
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