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光罩原理
由吳政三著作·2012—曝光機的原理和照相機基本上是類似的,完成光阻塗佈的晶圓.就如同底片一樣,而光罩就是我們要照的影像,只是曝光機的解析.度比照相機好很多而且也複雜很多。曝光機可分成 ...,微影製程是將電路圖案,透過已刻好圖案的光罩及光阻,「轉印」到晶圓...
微影製程再進化!複雜電路的祕密
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微影製程是將電路圖案,透過已刻好圖案的光罩及光阻,「轉印」到晶圓上的過程。舉例來說,在已有一層二氧化矽薄膜的晶圓上(見下圖),我們希望在特定位置蝕刻出一個 ...
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