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光罩原理
由吳政三著作·2012—曝光機的原理和照相機基本上是類似的,完成光阻塗佈的晶圓.就如同底片一樣,而光罩就是我們要照的影像,只是曝光機的解析.度比照相機好很多而且也複雜很多。曝光機可分成 ...,微影製程是將電路圖案,透過已刻好圖案的光罩及光阻,「轉印」到晶圓...
隨世代持續演進,中華凸版提供的光罩解決方案
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光罩是在積體電路,如LSI,的製造過程中使用的必要基本設備。它是一片透明的石英玻璃,其主要用途在於將積體電路之各種電路設計圖形轉化為晶圓製造廠大量生產所 ...
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