![何謂微影技術](https://host.easylife.tw/files/Immersive%20Explorer.gif)
何謂微影技術
微影系統本質上是一個投影系統,利用光線穿透印有電路圖的光罩,在矽晶片上投印出電路圖。光罩上的電路圖是實際在晶片上呈現圖案的4倍大。透過光線投射出光罩上的圖案,微 ...,2009年8月30日—利用光微影技術可以把對應於複雜電路的圖案,形成於晶圓表面。首先必須製...
微影製程再進化!複雜電路的祕密
- 何謂微影技術
- 台積電 浸潤式 曝光的 原理
- 何謂微影技術
- 微影技術原理
- immersion lithography ppt
- euv原理
- 浸潤式微影技術
- 超紫外光
- EUV lithography 原理
- arf immersion
- Double Patterning 原理
- lithography半導體
- 浸潤式immersion微影技術
- 台積電浸潤式曝光
- EUV光源 原理
- Overlay 半導體
- 193奈米浸潤式微影技術
- 光罩原理
- 浸潤式微影技術
- lithography意思
- 微影 技術應用
- 雷 射 微影
- euv波長
- duv euv
- 193 nm immersion lithography
微影製程是將電路圖案,透過已刻好圖案的光罩及光阻,「轉印」到晶圓上的過程。舉例來說,在已有一層二氧化矽薄膜的晶圓上(見下圖),我們希望在特定位置蝕刻出一個 ...
** 本站引用參考文章部分資訊,基於少量部分引用原則,為了避免造成過多外部連結,保留參考來源資訊而不直接連結,也請見諒 **