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何謂微影技術
微影系統本質上是一個投影系統,利用光線穿透印有電路圖的光罩,在矽晶片上投印出電路圖。光罩上的電路圖是實際在晶片上呈現圖案的4倍大。透過光線投射出光罩上的圖案,微 ...,2009年8月30日—利用光微影技術可以把對應於複雜電路的圖案,形成於晶圓表面。首先必須製...
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黃光微影製程技術.LithographyProcessTechnology.楊啟榮博士.副教授.國立台灣師範...○光罩繪製是微影製程最基本步驟,透由光刻程序將光罩上的圖案的轉移.至光阻 ...
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