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浸潤式微影技術
2022年9月12日—他20年前在台積電擔任研發處長時,以浸潤式微影技術,成功把摩爾定律推進6個世代;20年後,產業面臨空前的人才困境,80歲的林本堅再次扛下重擔,出任清大 ...,微影技術的發展,一直以來都象徵著製程的進步、線寬能否再微縮化等等內容,在半導體產業裡...
簡單的光學突破3C 科技瓶頸:浸潤式微影
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由林育詩著作·2008—浸潤式微影利用簡單的物理光學原理,包含折射、繞射與鑑別度,可以.同時改善解析度和焦距深度。使用原有微影系統,搭配浸潤式微影,可以達到更.短光源波長的效果,對IC ...
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