無塵室空調箱

1.無塵室內空調負荷經估算確認並排除濕製程區域，可免除濕及再熱功能。·2.無塵室內以分散乾盤管(DryCoolingCoil)或RAU空調箱控制室內溫度，當MAU穩定供應設定露點之補 ...,無塵室系統·一、循環空調箱(AHU)系統.特點以風管輸送清靜空氣特點:適用CLASS100K~1K·二、外氣空調箱(MAU)+FFU+DryCoil系統.特點雙層天板内空間為微負壓chamber,MAU（Make-upAirUnit），也稱為外氣空調箱，對無塵室環境的影響最大。主要功能是控制露點、製...

參考資訊如下
無塵室的濕度控制-

1.無塵室內空調負荷經估算確認並排除濕製程區域，可免除濕及再熱功能。 · 2.無塵室內以分散乾盤管( Dry Cooling Coil )或RAU空調箱控制室內溫度，當MAU穩定供應設定露點之補 ...

無塵室系統

無塵室系統 · 一、循環空調箱(AHU)系統. 特點 以風管輸送清靜空氣特點: 適用CLASS 100K~1K · 二、外氣空調箱(MAU)+FFU+Dry Coil系統. 特點 雙層天板内空間為微負壓chamber

無塵室中三個主要空調設備MAU、DCC、FFU

MAU（Make-up Air Unit），也稱為外氣空調箱，對無塵室環境的影響最大。主要功能是控制露點、製造潔凈空氣並確保無塵室保持正壓。無塵室需要恆溫恆濕的新鮮空氣，因此 ...

FFU？DCC？MAU？這些是什麼？無塵室為何需要？

MAU(Make-up Air Unit) 也稱「外氣空調箱」，對無塵室環境影響最大的也就是MAU。MAU主要負責功能為控制露點、製造無塵空氣，並確保無塵室保持正壓。 在無塵室空調系統需 ...

組合型無塵室空調箱(COMBINATION of CLEAN ...

特性 · 按裝施工容易，縮短工期，在狹窄的場所也可以按裝、移裝也非常容易。 · 採用PU隔熱，具有卓越的斷熱性、防水性、防止水珠的凝結。 · 快手鉤結合方式，確保高度的 ...

無塵室空調系統︱改善內部空氣品質

無塵室空調系統是指藉由空調來改善內部空氣品質、使室內空間成為一個低污然的環境。而空調系統的運作除了可以控制室內溫度外，也可以過濾室內懸浮微粒、粉塵等空氣裡的 ...

台積公司改裝無塵室外氣空調箱

2022年5月19日 — 台積公司改裝無塵室外氣空調箱，節電1億4,900萬度 · 研發濕膜板強化洗滌效果，有效節電80% · 既有廠區改裝+新建廠區導入，節能成效更提升.

無塵室建置要件

作業原理： 將外界空氣以組合式空調箱(AHU)初步過濾後，經風管送至無塵室天花板(氣艙)，再由高覆蓋率之HEPA過濾器充分潔淨，自天花板由上而下垂直吹入作業區，剩餘空氣由 ...

無塵室節約能源技術手冊

某廠在外氣空調箱內加裝兩道熱交換盤管，利用空調箱內部熱能回收，減少冰水. 與溫水供應量，降低冰水機與鍋爐耗能。空調箱每年約可節省40 萬度電，鍋爐每年. 則可減少約 ...