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無塵室空調箱
MAU(Make-upAirUnit)也稱「外氣空調箱」,對無塵室環境影響最大的也就是MAU。MAU主要負責功能為控制露點、製造無塵空氣,並確保無塵室保持正壓。在無塵室空調系統需 ...,2022年5月19日—台積公司改裝無塵室外氣空調箱,節電1億4,900萬度·研發濕膜板強化洗滌效果,有...
台積公司改裝無塵室外氣空調箱
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2022年5月19日—台積公司改裝無塵室外氣空調箱,節電1億4,900萬度·研發濕膜板強化洗滌效果,有效節電80%·既有廠區改裝+新建廠區導入,節能成效更提升.
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