微機電系統mems
三維微電子機械系統(3D-MEMS),是將矽加工成三維結構,其封裝和觸點便於安裝和裝配,用這種技術製作的感測器具有極好的精度、極小的尺寸和極低的功耗。這種感測器僅由一 ...,2023年9月27日—簡單來說,就是能夠在一個微小元件中整合電子、機械、材料、光學、化學以...
微機電系統技術與應用- 第一章
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微機電系統(micro-electro-mechanicalsystems,MEMS)在歐洲被稱為微系統科技(microsystemtechnology)。著名的費曼博士(1965年諾貝爾物理獎得主)在1959年美國 ...
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